電子氣
大連大特氣體有限公司近幾年來持續(xù)加大電子氣體投入，于2018年成為“集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟”成員。憑借豐富的配氣經(jīng)驗，先進(jìn)的分析能力（CNAS認(rèn)證實(shí)驗室）和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓芾眢w系，不斷開發(fā)滿足客戶需求的氣體產(chǎn)品，形成了以混合氣為主，特殊化學(xué)氣體及高純氣為輔的產(chǎn)品線，相關(guān)產(chǎn)品 已經(jīng)應(yīng)用于LED、IC、光伏等行業(yè)。 |
氣體組分 | 含量 | 閥門 | 充裝壓力 |
PH3/H2 | ppm級 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/N2 | ppm級 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/He | ppm級 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/H2 | ppm級 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/N2 | ppm級 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
B2H6/H2 | ppm級 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
30%O2/He | DISS714 | 12MPa | |
20%O2/Ar | DISS714 | 10MPa | |
3%H2/Ar | DISS724 | 10MPa | |
15%O2/Ar | DISS714 | 10MPa | |
0.5%O2/He | DISS714 | 12MPa | |
1.2%He/N2 | DISS714 | 12MPa | |
F2/Kr/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
F2/Ar/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
Kr/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
Ar/Xe/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
4%H2/N2 | DISS718 | 12MPa | |
2.7%C2H4/He | JISS22-14OR | 12MPa | |
99.9% NO | JISS22-14-OR | 3.5MPa |
